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FT-3120C半自動四探針測試儀

發布時間: 2021-11-24 15:47:41 點擊: 377
FT-3120C半自動四探針測試儀

FT-3120C半自動四探針測試儀

一.功能描述:

四點探針標準測試方法,采用步進系統自動控制探頭與樣品接觸,減少人為因素對測試結果的影響;參照A.S.T.M 標準;測量方塊電阻、電阻率、電導率數據、PC軟件采集和數據處理實現自動點測模式或手動點測模式,同一位置的重復測試或多點的面電阻測量,報表輸出數據統計分析;提供標準校準電阻件.

二.適用范圍:

晶圓、非晶硅/微晶硅和導電膜電阻率測量;選擇性發射極擴散片;表面鈍化片;交叉指樣PN結擴散片;新型電極設計,如電鍍銅電阻測量等;半導體材料分析,鐵電材料,納米材料,太陽能電池,LCD,OLED,觸摸屏等.

 規格型號 FT-3120C
1.電阻 10^-6~2×10^5Ω
2.方塊電阻 10^-6~2×10^5Ω/□
3.電阻率 10-7~2×106Ω-cm
4.測試電流 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
5.電流精度 ±0.1%
6.電阻精度 ≤0.3%
7.PC軟件操作 PC軟件界面:電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、數據管理分析:過程數據,大、小值,均值,方差,變異系數,樣品編號,測試點數統計報表生成等
8.探針范圍: 探針壓力為100-550g;依據樣品接觸需要手動調節
9.探針 針間絕緣電阻:≥1000MΩ;機械游移率:≤0.3%
圓頭銅鍍金材質,探針間距1mm;2mm;3mm選配,其他規格可定制
10.可測晶片
尺寸選購 晶圓尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm);
方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm
11.分析模式 自動或手動單點模式
12.加壓方式 測量重復性:重復性≤3% 
13.防護功能 具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報
14.測試環境 實驗室環境
15.電源 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W 
16.選購項目 電腦和打印機


 

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