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FT-3120 系列半自動四探針測試儀

發布時間: 2022-06-01 09:18:05 點擊: 1452
FT-3120 系列半自動四探針測試儀

FT-3120 系列半自動四探針測試儀

.功能描述

四點探針標準測試方法,采用步進系統自動控制探頭與樣品接觸,減少人為因素對測試結果的影響;參照A.S.T.M 標準;測量方塊電阻、電阻率、電導率數據、PC軟件采集和數據處理實現自動點測模式或手動點測模式,同一位置的重復測試或多點的面電阻測量,報表輸出數據統計分析;提供標準校準電阻件.

.適用范圍:

晶圓、非晶硅/微晶硅和導電膜電阻率測量;選擇性發射極擴散片;表面鈍化片;交叉指樣PN結擴散片;新型電極設計,如電鍍銅電阻測量等;半導體材料分析,鐵電材料,納米材料,太陽能電池,LCD,OLED,觸摸屏等.

三.技術參數:


規格型號

FT-3120A

FT-3120B

FT-3120C

FT-3120D

1.電阻

10^-3~2×10^4Ω

10^-5~2×10^5Ω

10^-6~2×10^5Ω

10-4~1×107Ω

2.方塊電阻 

10^-3~2×10^4Ω/□

10^-5~2×10^5Ω/□

10^-6~2×10^5Ω/□

10-4~1×107Ω/□

3.電阻率 

10^-4~2×10^5Ω-cm

10^-6~2×10^6Ω-cm

10-7~2×106Ω-cm

10-5~2×108Ω-cm

4.測試電流 

0.1μA.μA.0μA,100μA,1mA,

 

10mA,100mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

10mA ---200pA

5.電流精度 

±0.1%

±2%

6.電阻精度 

≤0.3%

≤10%

7.PC軟件操作

PC軟件界面:電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、數據管理分析:過程數據,大、小值,均值,方差,變異系數,樣品編號,測試點數統計報表生成等

8.探針范圍

(選購):

探針壓力為100-550g;依據樣品接觸需要手動調節

9.探針

針間絕緣電阻:≥1000MΩ;機械游移率:≤0.3%

圓頭銅鍍金材質,探針間距1mm;2mm;3mm選配,其他規格可定制

10.可測晶片

尺寸選購

 

晶圓尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm);

方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm

11.分析模式

自動或手動單點模式

12.加壓方式

測量重復性:重復性≤3% 

13.安全防護

具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報

14.測試環境

實驗室環境

15.電源

輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W 

16.選購項目

電腦和打印機

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