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FT-3110系列全自動四探針測試儀

發布時間: 2022-06-01 09:17:09 點擊: 2378
FT-3110系列全自動四探針測試儀

FT-3110系列全自動四探針測試儀

.功能描述

四點探針法,全自動化運行測量系統,PC軟件采集和數據處理;參照A.S.T.M 標準方法測試半導體材料電阻率和方塊電阻;可設定探針壓力值、測試點數、多種測量模式選擇;真空環境,可顯示:方阻、電阻率、顯示2D,3D掃描/數值圖、溫濕度值、提供標準校準電阻件.   報表輸出數據統計分析.

.適用范圍

晶圓、非晶硅/微晶硅和導電膜電阻率測量;選擇性發射極擴散片;表面鈍化片;交叉指樣PN結擴散片;新型電極設計,如電鍍銅電阻測量等;半導體材料分析,鐵電材料,納米材料,太陽能電池,LCD,OLED,觸摸屏等.

 

三.技術參數:

規格型號

FT-3110A

FT-3110B

1.電阻

10^-5~2×10^5Ω

10^-6~2×10^5Ω

2.方塊電阻 

10^-5~2×10^5Ω/□

10^-6~2×10^5Ω/□

3.電阻率 

10^-6~2×10^6Ω-cm

10-7~2×106Ω-cm

4.測試電流 

0.1μA.μA.0μA,100μA,1mA, 10mA,100mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

5.電流精度 

±0.1%

6.電阻精度 

≤0.3%

7.PC軟件操作

PC軟件界面:電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、壓力、

報表生成等

8.壓力范圍選購:

探針壓力可調范圍:軟件控制,100-500g可調

9.探針

針間絕緣電阻:≥1000MΩ;機械游移率:≤0.3%

圓頭銅鍍金材質,探針間距1mm;2mm;3mm選配,其他規格可定制

10.可測晶片

尺寸選購

晶圓尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm);

方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm

11.分析模式

單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試

12.加壓方式

測量重復性:重復性≤3% 

13.安全防護

具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報

14.測試環境

真空

15.電源

輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W 

16.選購項目

電腦和打印機



(選購)

(選購)

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