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導電膜雙電測電四探針電阻測試儀

發布時間: 2021-04-26 13:04:07 點擊: 1870
導電膜雙電測電四探針電阻測試儀

適用范圍Widely used:

硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻  半導體材料/晶圓、太陽能電池、電子元器件,導電薄膜(ITO導電膜玻璃等),金屬膜,導電漆膜,蒸發鋁膜,PCB銅箔膜,

EMI涂層等物質的薄層電阻與電阻率  導電性油漆,導電性糊狀物,導電性塑料,導電性橡膠,導電性薄膜,金屬薄膜,

抗靜電材料, EMI 防護材料,導電性纖維,導電性陶瓷等

 導電膜雙電測電四探針測試儀


功能描述Description:

1. 四探針組合雙電測量方法

2. 液晶顯示,自動測量,自動量程,自動系數補償.

3. 集成電路系統、恒流輸出.

4. 選配:PC軟件進行數據管理和處理.

5. 提供中文或英文兩種語言操作界面選擇

 導電膜雙電測電四探針測試儀

參照標準:



1.硅片電阻率測量的標準(ASTM F84).

2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》.

3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》.

4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.

 導電膜雙電測電四探針測試儀

雙電組合測試方法:

利用電流探針、電壓探針的變換,進行兩次電測量,對數據進行雙電測分析,解決樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響,適用于斜置式四探針對于微區的測試。

規格型號/ model

FT-341

FT-342

FT-343

FT-345

FT-346

FT-347

1.方塊電阻sheet resistance

10-5~2×105Ω/□

10-4~2×105Ω/□

10-3~2×105Ω/□

10-3~2×104Ω /□

10-2~2×105Ω/□

10-2~2×104Ω/□

2.電阻率Resistivity

10-6~2×106Ω-cm

10-5~2×106Ω-cm

10-4~2×106Ω-cm

10-4~2×105Ω-cm

10-3~2×106Ω-cm

10-3~2×106Ω-cm

3.測試電流Test current

0.1μA.μA.0μA,100μA,1mA,10mA,100mA

1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100mA

0.1μA.μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA

1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100mA

0.1μA、1μA、10μA,100μA,1mA,10mA,100mA

1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100mA

4.電流精度Current

±0.1% accuracy

±0.2%  accuracy

±0.2%  accuracy

±0.3%  accuracy

±0.3%  accuracy

±0.3%  accuracy

5.電阻精度Resistance

≤0.3% accuracy

≤0.3% accuracy

≤0.3% accuracy

≤0.5% accuracy

≤0.5% accuracy

≤0.5% accuracy

6.顯示讀數display

屏液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率Large screen LCD: Resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity

7.測試方式

test mode雙電測量Double electrical measurement

8.電源Power

輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W

9.誤差errors

≤3%(標準樣片結果)

10.選購功能choose to buy

選購1.pc軟件; 選購2.方形探頭; 選購3.直線形探頭; 選購4.測試平臺;5.標準電阻.1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test platform

11.測試探頭test probe

探針間距選購:1mm;2mm;3mm三種規格; 探針材質選購:碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針Optional probe spacing: 1mm;2mm;3mm in three sizes.Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles.



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